低温等离子的反应机理是利用高达 7 到 10 电子伏的高能电子以每秒钟 300 万至 3000 万速度的等量发射和回收,轰击废气的分子将废气分子中化学键打开(苯环中化学键能为 3 电子伏),使其处于极不稳定态,与伴生的强氧化剂羟基和活性氧原子等发生氧化反应,^终生成二氧化碳和水。