氧气等离子体是指在将氧气引入等离子体室时执行的任何等离子体处理。在粘结之前，氧气通常用于清洁表面。它也可以与其他气体混合以蚀刻各种材料，例如塑料和橡胶。

    等离子体将清洁塑料样品的表面并增加其润湿性。如果将氧气等离子体与氩气混合，也可以用来清洁金属表面。氩气将氧分子从金属上剥离，以防止氧化。

    等离子光氧的灰化是在制造过程中从产品中去除碳的过程。在高频等离子体系统中，总是使用氧等离子体进行等离子体灰化。

    通常，等离子体灰化的目的是完全去除有机物，包括挥发性碳氧化物和水蒸气。真空系统将所有去除的污染物泵出腔室。

    氧等离子体去除了所有痕量的有机物，并且没有残留物，除非样品上有过多的无机污染物。