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等离子光氧的灰化与氧气处理

信息来源:本站 | 发布日期: 2020-01-03 | 浏览量:
关键词:等离子光氧灰化氧气
  灰化是在等离子光氧的处理过程中从产品中去除碳的过程,在高频等离子光氧体系统中,总是使用氧等离子光氧体进行等离子光氧体灰化。

  通常,等离子光氧体灰化的目的是完全去除有机物,包括挥发性碳氧化物和水蒸气。真空系统将所有去除的污染物泵出腔室。氧等离子光氧体去除了所有痕量的有机物,并且没有残留物,除非样品上有过多的无机污染物。

  通常用于等离子光氧体处理的另一种气体是氩气;氧气和氩气之间明显的区别是,氧等离子光氧体能够进行表面改性,而氩气则不能,此外,氧气将腐蚀而氩气仅会清洁。

  如果放置的时间过长,氧气可能会改变某些塑料的表面,使它们无法粘结;但是,氩气可以长期安全使用。对于易氧化的材料(例如,银,铜),氧等离子光氧体需要额外的防氧化气体,氩气通常与氧气一起使用。
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