开发基于现代废气处理的两个重要愿望：改进的PFC减排和减少维护间隔；因此，环境专业人员组合中引入了新的技术方法。这些气体现在从上到下燃烧。擦洗阶段针对HF进行了优化，水或碱液消耗更小化，特殊的入口设计可防止堵塞。其他选项可用于改善其他过程中的维护间隔。
  
  工艺废气的有害物质直接从它们产生的地方进行处理（使用点）。在这种优化的燃烧/湿润技术中，气体从顶部到底部燃烧。取决于废气的化学组成，发生各种反应（氧化，还原，热解）。
  
  流体壁/膜防止颗粒在反应器中腐蚀和沉积。在反应器旁边的洗涤塔中，可溶性组分被吸收并且颗粒悬浮。洗涤液冷却并中和燃烧产物，例如卤化氢。随着在整体减排概念中的应用，高科技行业的制造商将符合空气污染法的严格标准。