不同材料的表面与等离子体的相互作用从技术和基础知识的角度提出了兴趣。在许多情况下，等离子体带来的变化可以改善材料的许多表面特性，例如粘附性，润湿性，润滑性等，这有利于它们在各种领域中的应用：微电子学，薄膜技术，生物医学等。
  
  虽然氧化等离子体具有极强的化学反应性，但它具有某些特性，这些特性使其不仅可以通过蚀刻和溅射去除材料，还可以驱动和维持等离子体暴露表面中各种纳米结构的成核和生长。
  
  许多代表性的例子被用来展示等离子光氧的关键机制和独特的能力以及它们如何在当今的纳米制造中使用。除了氧等离子体典型的改性和功能化过程之外，还强调了它们催化复杂纳米结构生长的能力。基于氧等离子体的两种类型的技术，即表面处理没有改变表面特征的尺寸和形状，以及氧化物结构的直接生长，被用于更好地说明氧等离子体作为强大的工艺环境的能力。