许多工业和研究生产程序使用工艺气体并产生废气，这些废气是有毒的或高度易燃的，并且经常对生产设施和环境造成重大风险，例如，半导体行业使用全氟化碳，其全球变暖潜能值（GWP）非常高。将不同的气体组合并运送到工厂的中央废气系统中可能会产生高度易燃和高度爆炸性的气体混合物，过去偶尔会造成整个生产设施的全部损失，包含在气体中的颗粒也可能导致排气堵塞。为了消除这些风险，工业废气需要在“有效排放”立即消除的“使用点”（POU）进行处理。
  
  通常，POU气体处理工具位于子工厂中，并放置在真空泵之后，使用的大气过程非常少，以真空为主的过程占绝大多数，^佳实践安装导致气体减排工具尽可能靠近泵放置，反过来，泵也放置在尽可能靠近处理工具的位置。
  
  尽管有几种不同的技术可用，但废弃气体处理系统的基本概念是相同的。大多数工具在处理废气流时使用两个阶段，然而取决于工艺气体，一个阶段可能绰绰有余，无论是干式燃烧器还是湿式洗涤器。在两级系统中，废气被热分解为它们的组成元素，在洗涤器中洗涤以除去任何酸性组分之前，被氧化以形成稳定的副产物。分解的第一阶段可以通过几种不同的技术来完成，如“燃烧”，“热”和“等离子体”。