首先是健康和安全，许多使用的过程气体是易燃或爆炸性的，如H2或SiH4，而另一些则是COF2，HBr，F2等毒物，所以必须在接触人类或野生动物之前进行处理。
  
  第二个原因是所使用的许多气体对环境是危险的，例如CF4，其使用寿命约为。在大气中有五万年的历史，其全球变暖潜力为二氧化碳的6.500倍。
  
  工业废气治理的第三个原因是许多废气在气流中含有大量颗粒或粉尘。例如，这种粉尘通常是在基于硅烷（SiH4）的沉积过程中产生的，反应后的硅烷产生二氧化硅作为非常细小的灰尘作为废产物。这种粉尘有可能破坏设备排气，导致制造工厂意外停机。使灰尘难以处理的是颗粒尺寸通常是亚微米级的并且容易通过湿洗涤器或物理过滤器而不被捕集在洗涤液中。