烧伤/湿式技术：在尽可能小的空间内进行燃烧和洗涤的两种操作程序的组合基于ESCAPE技术，废气被送入环形燃烧器装置。根据废气的化学组成，发生各种反应（氧化，还原，热解）。在随后的洗涤过程中，通过燃烧产生的可溶性，气态和固体化合物被合适的洗涤液吸收和冷却。
废气处理-热解：进行
工业废气治理时，在分解区中燃烧，如果需要，可以使用燃气，取决于废气的化学组成，发生各种反应，例如氧化，还原或热解。燃烧器产品系列LARCH专为LED行业的MOCVD工艺而设计。它能够处理大量的典型气体氢气和氨气。
湿式吸收剂处理水溶性物质：湿法洗涤是处理工艺废气中水溶性污染物的有效过程。湿式洗涤器主要用于半导体行业，作为使用点（POU）湿处理系统，紧密地安装在真空泵的后面，它们^佳地保护了工厂的废气系统免受污染和腐蚀，维护快速简单。
微米和纳米颗粒的静电收集：静电过滤器使用电场来清洁颗粒中的过程废气。系统在其出现时例如过滤含微粒和纳米粒子或含气溶胶的工艺废气。在TFT行业为了处理可冷凝的有机化合物，提供静电冷凝分离器。
